客户需求:
a.主炉室观察窗口:检测坩埚内硅液、固液交接处、固体硅棒的温度及分布;b.通过侧面窗口, 检测炉内石墨加热器温度(1420℃) 并反馈信号控制加热功率。
解决方案:
在长晶过程中,晶体炉内温度场的优劣对晶硅成品率至关重要,红加科技短波红外热像仪直接透过石英玻璃窗口,实时稳定地监测炉内硅液、固液交接面、固态硅棒等多种形态温度状况及其分布,确保晶硅的高质量生长。
另外通过控制石墨加热器的功率可以调节改变晶体炉内的温度场, 深圳欧普士耐高温光纤红外测温仪实时检测加热器温度并反馈输出信号对功率加以控制, 从而形成最优化的晶硅生长热场环境。